真空レギュレータ RVシリーズ

RV

RV・S |
・高精度制御
感度0.3kPa(1mmHg)、繰り返し再現性0.13kPa(±1mmHg)以内という高精度の真空度制御が可能です。
・優れた圧力特性
1次圧変動に対して設定圧の変動1.3kPa(10mmHg)以内です。
・大流量タイプ
流量270Nl/minまで流すことが可能で,大流量の用途に対応できます。
・応答性良好
2次側の圧力変動に対して敏感に応答します。
・大流量タイプ
流量270Nl/minまで流すことが可能で,大流量の用途に対応できます。 |
| 仕 様 |
| 項 目 |
RV・S−1−2 |
RV−1−2 |
RV−1−3 |
| 使用流体 |
空 気 ( 真 空 ) |
| 圧力設定範囲 kPa |
−1.3 〜 −100( 10 〜 750 ) |
| 感 度 kPa |
13.3(0.1) |
| 繰返し再現性 kPa |
±0.13(±1)以内 |
| 使用温度範囲 ℃ |
5 〜 60 |
| 流 量 l/min(normal) |
200 |
270 |
| 配管接続口径 Rc |
1/4 |
3/8 |
| ブラケット |
標準装備 |
| 質 量 kg |
0.5 |
0.65 |
| 形式表示方法 |
| @ |
A |
| 基本形 |
配管接続口径 |
| RV |
標準 |
2 |
Rc1/4 |
| RV・S |
小形タイプ |
3 |
Rc3/8※ |
※RVのみ適用
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