 RV  RV・S |
·高精度控制 能够进行灵敏度为0.3kPa（1mmHg），反复再现性为0.13kPa（±1mmHg）以内的高精度的真空控制。 ·优异的压力特性 对于次压力变化，设定压力变动为1.3kPa（10mmHg）以内。 大流量类型 能够进行流量达到／的控制，因此应用于大流量的使用。 ·应答性良好 对于次侧的压力变动反应灵敏。 |
| 规 格 | |||
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| 项目 | RV・S－1－2 | RV－1－2 | RV－1－3 |
| 使用流体 | 空气(真空) | ||
| 压力设定范围 kPa | -1.3 ～ -100（ 10 ～ 750 ） | ||
| 灵敏度 kPa | 13.3（0.1） | ||
| 反复再现性 kPa | ±0.13（±1）以内 | ||
| 使用温度范围 ℃ | 5～60 | ||
| 流量 l/min(normal) | 200 | 270 | |
| 配管连接口径 Rc（PT） | 1／4 | 3／8 | |
| 托架 | 标准装备 | ||
| 质量 kgf | 0.5 | 0.65 | |
| 型式表示方法 | ||||||||||||||||||||||||||
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详细内容请参阅使用说明书No．KS－131E
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