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·充分发挥了BF隔膜的特长，因为没有活塞杆密封，所以可以实现超低速运转。 ·几乎不会产生灰尘以及空气泄漏。 |
| 规 格 | |||
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| 动作型式 | 双动型 | ||
| 气缸直径 mm | 10 | 20 | 31.5 |
| 冲程 mm | 5 | 20 | 35 |
| 使用流体 | 压缩空气（无供油） | ||
| 使用压力范围 MPa | 0.01 ～ 0.5 | ||
| 使用温度范围 ℃ | 0 ～ 60 | ||
| 配管连接口 | M5×0.8（螺母） | ||
| 质量 g | 35 | 65 | 110 |
※1：直径为φ20,φ31.5气缸的BF隔膜、线性滚珠轴承的材质有必要变更。
| 型式表示方法 | ||||||||||||||||||||
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详细内容请参阅使用说明书No．KS－9130E
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